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              FA4230_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

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              • FA4230_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

              FA4230_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

              FA4230_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

              產(chǎn)品描述


              單軸大氣晶圓片盒搬運(yùn)機(jī)器人
              FA4230_FA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
               
              • ●采用閉環(huán)伺服控制
              • ●可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)和Z軸行程
              • ●可選配免電池絕對(duì)式編碼器
              • ●可選mapping傳感器類型:對(duì)射式、反射式
              • ●可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式

              臂長(zhǎng)

              420mm

              額定/最大負(fù)載

              4kg

              搬運(yùn)物

              ≤Φ300mm晶圓

              新時(shí)達(dá)眾為興FA4230F_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

              關(guān)鍵詞:

              FA4新時(shí)達(dá)眾為興230F_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

              規(guī)格參數(shù)

              新時(shí)達(dá)眾為興FA4230_4軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人


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